Технология ионно-лучевого травления — это технология сверхтонкой обработки, возникшая в 70-х годах 20-го века с разработкой твердотельных устройств с субмикронной шириной линии, которая использует эффект распыления бомбардировки ионным лучом на твердые поверхности для удаления геометрия, необходимая на обрабатываемом устройстве.
По сравнению с механической обработкой, химической коррозией, плазменной коррозией, плазменным распылением и другими процессами ионно-лучевое травление имеет следующие характеристики:
(1) Он неселективен по отношению к обрабатываемым материалам, и любой материал, включая проводники, полупроводники и изоляторы, может быть протравлен.
(2) Он обладает сверхтонкой способностью обработки. Он способен гравировать очень мелкие узоры канавок микронного и субмикронного диапазона и даже гравировать линии размером 0,008 мкм.
(3) Травление имеет хорошую направленность и высокое разрешение. Его образец направленно бомбардируется коллимированным ионным лучом в вакууме, что представляет собой направленное травление, которое может преодолеть неизбежное явление сверления и травления при химической влажной обработке, а края вытравленного рисунка становятся острыми и ясными. Высокое разрешение. Точность может достигать 0.1~0.01 мкм, а шероховатость поверхности лучше 0,05 мкм.
(4) Гибкая технологичность и хорошая повторяемость. Поскольку плотность луча, энергия, угол падения, перемещение или скорость вращения стола заготовки и другие рабочие параметры ионного луча можно независимо и точно контролировать в достаточно широком диапазоне, легко получить оптимальные условия обработки для различных образцов. , который может не только контролировать наклон боковой стенки линии, но и контролировать глубину канавки, которая изменяется в соответствии с определенной функцией (глубина канавки, которая изменяется в соответствии с определенной функцией, называется взвешиванием глубины).
(5) Недостатком ионно-лучевого травления является явление переосаждения (эффекта переосаждения) напыленных материалов. Это необходимо решать на практике.